適用于半導(dǎo)體、光伏等各個行業(yè)應(yīng)用。
長飛石英公司應(yīng)用多種合成及熔融工藝,采用SiCl4,有機硅烷和高品質(zhì)天然石英砂,基于自主工藝制造的各類合成和電熔石英錠,可滿足半導(dǎo)體、光伏、工業(yè)等泛半導(dǎo)體行業(yè),對石英材料理化特性與光學(xué)性能的嚴苛要求,為客戶提供材料性能優(yōu)異、穩(wěn)定、可定制化的大尺寸石英材料及產(chǎn)品。
?
?
雜質(zhì)含量ppb | Li | Na | K | Mg | Ca | Cu | AI | Cr | Fe | Ti |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
YS-1220 |
≤0.001 | ≤0.003 | ≤0.001 | ≤0.001 | ≤0.001 | ≤0.001 | ≤0.003 | ≤0.001 | ≤0.001 | ≤0.005 |
YS-2230 |
≤0.001 | ≤0.005 | ≤0.005 | ≤0.005 | ≤0.005 | ≤0.001 | ≤0.005 | ≤0.001 | ≤0.001 | ≤0.008 |
注:采用ICP-MS法測定,表中數(shù)據(jù)為典型值
產(chǎn)品 | 型號 | 典型尺寸 (mm) | 產(chǎn)品特點:合成石英材料 | |
---|---|---|---|---|
石英部件用 | 光學(xué)部件用 | |||
低OH合成石英錠 | YS-1220 | YS-1320 | φ350xH50/φ450xH45 |
|
合成石英錠 | YS-2230 | YS-2330 | 330x330x40/500x500xH50/ 1200x850x50 |
雜質(zhì)含量 ppm |
Al | B | Ca | Co | Cr | Cu | Fe | K | Li | Mg | Mn | Na | Ni | Ti | OH |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
YE-3234 |
≤13 | ≤0.1 | ≤1.0 | ≤0.06 | ≤0.03 | ≤0.5 | ≤1.0 | ≤0.9 | ≤0.5 | ≤0.62 | ≤0.06 | ≤1.0 | ≤0.27 | ≤2.2 | ≤20 |
產(chǎn)品 | 型號 | 典型尺寸 (mm) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 產(chǎn)品特點 | |
---|---|---|---|---|---|
電熔石英錠 | YE-3234 | φ1900xH500 | 半導(dǎo)體、光伏、工業(yè)等 | 純度高,OH含量及氣泡率低,耐高溫性能好 |
可根據(jù)客戶需求,定制加工各種規(guī)格石英部件
?
參數(shù) | 單位 | 合成石英類 | 電熔石英類 |
---|---|---|---|
密度 | g/cm3 |
2.20 |
2.20 |
莫氏硬度 | - |
7 |
6~7 |
楊氏模量 | GPa | 72.80 | 70 |
剪切模量 | GPa |
31.22 |
30 |
泊松比 | - |
0.17 |
0.17 |
抗壓強度 | GPa |
1.13 |
1.13 |
抗拉強度 | MPa |
49 |
49 |
彎曲強度 | MPa | 94.3 | 94 |
參數(shù) | 單位 | 電熔石英YE系列 | 合成石英YS-1220 | 合成石英YS-2230 |
---|---|---|---|---|
應(yīng)變點(η=1014.5dPa·s) | °C | 1100 | 1070 | 1000 |
退火點(η=1013dPa·s) | °C | 1210 | 1200 | 1160 |
軟化點(η=107.6dPa·s) | °C | 1720 | 1680 | 1620 |
熱膨脹系數(shù) | ||||
20~100°C | ×10-6/°C | 0.49 | 0.49 | 0.49 |
20~300°C | ×10-6/°C | 0.55 | 0.55 | 0.55 |
20~600°C | ×10-6/°C | 0.54 | 0.54 | 0.54 |